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C8F18O5S2
582.2 g/mol
電子化学品危険

Nonafluorobutanesulfonic anhydride

CAS36913-91-4EC253-270-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
半導体製造用の光酸発生剤

ノナフルオロブタンスルホン酸無水物は、半導体製造において光酸発生剤として使用される高分子量のパーフルオロ化合物です。その主な意義は、半導体デバイス製造におけるフォトレジストプロセスを可能にすることにあります。

半導体デバイス製造用の光酸発生剤科学研究および開発用の実験室化学薬品

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安全参照

腐食性
腐食性
有害
有害
危険
H314Causes severe skin burns and eye damage
H319Causes serious eye irritation

関税分類(HSコード)

Nonafluorobutanesulfonic anhydride(CAS 36913-91-4)の国際HSコードは 2904.99 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2904.99

EU CNコード(8桁)

2904 99 00

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
IUPAC名

1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate

InChIKey

QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N

SMILES

C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F

別名一覧 (13)
  • Nonaflate anhydride

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