C8F18O5S2
582.2 g/mol
電子化学品危険
Nonafluorobutanesulfonic anhydride
CAS36913-91-4EC253-270-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
ハロカーボン
主な用途
半導体製造用の光酸発生剤
ノナフルオロブタンスルホン酸無水物は、半導体製造において光酸発生剤として使用される高分子量のパーフルオロ化合物です。その主な意義は、半導体デバイス製造におけるフォトレジストプロセスを可能にすることにあります。
半導体デバイス製造用の光酸発生剤科学研究および開発用の実験室化学薬品
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CAS 36913-91-4
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安全参照
危険
H314Causes severe skin burns and eye damage
H319Causes serious eye irritation
識別子
IUPAC名
1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
InChIKey
QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F
別名一覧 (13)
- Nonaflate anhydride