Octafluoroadipic acid

CAS336-08-3EC206-407-1

用途カテゴリー

電子化学品

化合物分類

有機酸

主な用途

リソグラフィーにおけるトップ反射防止コーティング

オクタフルオロアジピン酸はフッ素化ジカルボン酸であり、半導体リソグラフィーにおいてトップ反射防止コーティングとして使用されます。その構造は2つのカルボン酸基と8個のフッ素原子を持ち、電子化学品としての用途に貢献しています。

リソグラフィーにおけるトップ反射防止コーティング半導体産業向け非ポリマーPFAS

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CAS 336-08-3

安全参照

有害

警告

H315Causes skin irritation

H319Causes serious eye irritation

H335May cause respiratory irritation

識別子

IUPAC名

2,2,3,3,4,4,5,5-octafluorohexanedioic acid

InChIKey

AXRSOGFYDSXLQX-UHFFFAOYSA-N

SMILES

C(=O)(C(C(C(C(C(=O)O)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)O

別名一覧 (10)