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C12H9F13O2
432.18 g/mol
電子化学品警告

Tridecafluorohexylethyl methacrylate

CAS2144-53-8EC218-407-9
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
エステル
主な用途
半導体製造用フォトレジスト成分

トリデカフルオロヘキシルエチルメタクリレートは、半導体製造におけるフォトレジスト成分として使用されるフッ素化メタクリレートモノマーです。その高度にフッ素化された構造は、フォトリソグラフィープロセスにおけるエッチング耐性と光学特性の向上に貢献します。

半導体製造用フォトレジスト成分フォトレジスト用光増感剤

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安全参照

有害
有害
健康有害性
健康有害性
環境有害性
環境有害性
警告
H315Causes skin irritation
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H373May cause damage to organs through prolonged or repeated exposure
H410Very toxic to aquatic life with long lasting effects

関税分類(HSコード)

Tridecafluorohexylethyl methacrylate(CAS 2144-53-8)の国際HSコードは 2916.14 です。

HSコード(国際共通・6桁)

2916.14

EU CNコード(8桁)

2916 14 00

EU税関化学品目録 ECICS(2026-07 時点、HS 2022)に基づく分類です。各国の税率細目や製品形態により最終的な分類が異なる場合があります。

識別子
IUPAC名

3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl 2-methylprop-2-enoate

InChIKey

CDXFIRXEAJABAZ-UHFFFAOYSA-N

SMILES

CC(=C)C(=O)OCCC(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F

別名一覧 (19)
  • ACTYFLON G 06B
  • CAPSTONE 62MA
  • CHEMINOX FAMAC 6
  • FAMAC 6
  • FLUOWET MA 600

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