C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
電子化学品危険
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
有機金属
主な用途
化学気相成長用シリコン前駆体
ジ-tert-ブチルジクロロシランは有機ケイ素化合物であり、主に化学気相成長プロセスにおけるシリコン前駆体として使用されます。その構造は、中心のケイ素原子に2つの塩素原子と2つのtert-ブチル基が結合しています。
化学気相成長用シリコン前駆体
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CAS 18395-90-9
関連化合物
安全参照
危険
H314Causes severe skin burns and eye damage
識別子
IUPAC名
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
別名一覧 (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane