C9H27O4PSi3
314.54 g/mol
電子化学品危険
Tris(trimethylsilyl) phosphate
CAS10497-05-9EC234-028-1
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
エステル
主な用途
電子化学薬品
トリス(トリメチルシリル)ホスフェートは、リン酸の3つのヒドロキシ基が(トリメチルシリル)オキシ基で置換された有機ケイ素化合物です。主に電子化学薬品として工業プロセスで使用されます。
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CAS 10497-05-9
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安全参照
危険
H225Highly flammable liquid and vapour
H226Flammable liquid and vapour
H314Causes severe skin burns and eye damage
H315Causes skin irritation
H318Causes serious eye damage
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H412Harmful to aquatic life with long lasting effects
識別子
IUPAC名
tris(trimethylsilyl) phosphate
InChIKey
QJMMCGKXBZVAEI-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C[Si](C)(C)OP(=O)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C
別名一覧 (9)
- Phosphoric acid, triTMS
- Phosphoric acid, tris-TMS
- Tris-(trimethylsilyl)fosfat
- tritrimethylsilyl phosphate