Cl3HSi
135.45 g/mol
電子化学品危険
Silane, trichloro-
トリクロロシラン
CAS10025-78-2EC233-042-5
用途カテゴリー
電子化学品
化合物分類
その他
主な用途
高純度シリコンの製造
トリクロロシランは、高純度シリコン製造における重要な中間体として使用される化学化合物です。主に半導体や太陽電池に用いられるポリシリコンの製造において、電子産業で利用されています。
高純度シリコンの製造半導体用ポリシリコンの製造
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CAS 10025-78-2
関連化合物
安全参照
危険
H224Extremely flammable liquid and vapour
H260In contact with water releases flammable gases which may ignite spontaneously
H302Harmful if swallowed
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H331Toxic if inhaled
H250Catches fire spontaneously if exposed to air
H332Harmful if inhaled
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H330Fatal if inhaled
H371May cause damage to organs
識別子
IUPAC名
trichlorosilane
InChIKey
ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
[SiH](Cl)(Cl)Cl
別名一覧 (9)
- Silane, trichloro-
- Silici-chloroforme
- Siliciumchloroform
- Silicochloroform
- Trichloorsilaan
- Trichlorosilane
- Trichlorsilan
- Triclorosilano