C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
Produit chimique électroniqueAttention
N-Hydroxynaphthalimide triflate
CAS85342-62-7
Catégorie
Produit chimique électronique
Classe du Composé
Hétérocycle
Utilisation principale
photoacid generator for photoresistors
N-Hydroxynaphthalimide triflate is a photoacid generator used in photoresist formulations for semiconductor manufacturing. It is a non-polymer PFAS compound that generates acid upon exposure to light, enabling pattern formation in photoresist layers.
photoacid generator for photoresistorsused in manufacturing semiconductor devices
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Identifiants
Nom IUPAC
(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate
InChIKey
LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F
Synonymes (10)
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