CF4
88.004 g/mol
Produit chimique industrielAttention
CARBON TETRAFLUORIDE
CAS75-73-0EC200-896-5
Catégorie
Produit chimique industriel
Classe du Composé
Halocarbure
Utilisation principale
low temperature refrigerant and gaseous insulator
Carbon tetrafluoride is a halocarbon compound used as a low temperature refrigerant and gaseous insulator. It is also employed in the semiconductor industry for plasma etching of silicon wafers.
low temperature refrigerantgaseous insulatorplasma etching of silicon wafers in semiconductor manufacturing
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CAS 75-73-0
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Référence Sécurité
Attention
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
Identifiants
Nom IUPAC
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
Synonymes (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon