C4H13NO
91.15 g/mol
Produit chimique électroniqueDanger
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
CAS75-59-2EC200-882-9
Catégorie
Produit chimique électronique
Classe du Composé
Sel inorganique
Utilisation principale
Semiconductor photoresist developer and etchant
Tetramethylammonium hydroxide is a corrosive solid or colorless liquid with a strong ammonia-like odor, soluble in water. It is primarily used in semiconductor manufacturing as a photoresist developer and etchant.
Photoresist developer in semiconductor manufacturingAnisotropic etchant for siliconBuffer and titrant in chemical analysis
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CAS 75-59-2
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Référence Sécurité
Danger
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
Identifiants
Nom IUPAC
tetramethylazanium hydroxide
InChIKey
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C[N+](C)(C)C.[OH-]
Synonymes (23)
- NMW-W
- TMAH
- TMAOH
- NMD 3
- TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
- TMAH 10 % in water
- tetramethylammonium oxide
- tetramethylamonium hydroxide
- tetramethylazanium;hydroxide