C8F18O5S2
582.2 g/mol
Produit chimique électroniqueDanger
Nonafluorobutanesulfonic anhydride
CAS36913-91-4EC253-270-9
Catégorie
Produit chimique électronique
Classe du Composé
Halocarbure
Utilisation principale
Photoacid generator for semiconductor manufacturing
Nonafluorobutanesulfonic anhydride is a high-molecular-weight perfluorinated compound used as a photoacid generator in the semiconductor manufacturing industry. Its primary significance lies in enabling photoresist processes for the production of semiconductor devices.
Photoacid generator for manufacturing semiconductor devicesLaboratory chemical for scientific research and development
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CAS 36913-91-4
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Référence Sécurité
Danger
H314Causes severe skin burns and eye damage
H319Causes serious eye irritation
Identifiants
Nom IUPAC
1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
InChIKey
QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F
Synonymes (13)
- Nonaflate anhydride