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Accueil/Composés/Réactif de recherche/Tetrakis(2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dionato)zirconium
C44H76O8Zr
824.3 g/mol
Réactif de recherche

Tetrakis(2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dionato)zirconium

CAS18865-74-2
Catégorie
Réactif de recherche
Classe du Composé
Organométallique
Utilisation principale
Composé de recherche

This compound is a zirconium coordination complex with four tetramethylheptanedionate ligands, used as a volatile metal precursor in thin-film deposition processes. It is primarily employed in research and laboratory settings for chemical vapor deposition or atomic layer deposition applications.

volatile metal precursor for thin filmschemical vapor deposition (CVD) researchatomic layer deposition (ALD) research

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CAS 18865-74-2

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Identifiants
Nom IUPAC

tetrakis(2,2,6,6-tetramethylheptane-3,5-dione);zirconium(4+)

InChIKey

MOOILSXNGBFZKZ-UHFFFAOYSA-N

SMILES

CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.CC(C)(C)C(=O)[CH-]C(=O)C(C)(C)C.[Zr+4]

Synonymes (1)

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