C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
Produit chimique électroniqueDanger
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
Catégorie
Produit chimique électronique
Classe du Composé
Organométallique
Utilisation principale
silicon precursor for chemical vapor deposition
Di-tert-butyldichlorosilane is an organosilicon compound primarily used as a silicon precursor in chemical vapor deposition processes. Its structure contains two chlorine atoms and two tert-butyl groups bonded to a central silicon atom.
silicon precursor for chemical vapor deposition
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CAS 18395-90-9
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Référence Sécurité
Danger
H314Causes severe skin burns and eye damage
Identifiants
Nom IUPAC
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
Synonymes (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane