C13H6F3NO5S
345.25 g/mol
ElektronikchemikalieAchtung
N-Hydroxynaphthalimide triflate
CAS85342-62-7
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Heterozyklus
Hauptverwendung
photoacid generator for photoresistors
N-Hydroxynaphthalimide triflate is a photoacid generator used in photoresist formulations for semiconductor manufacturing. It is a non-polymer PFAS compound that generates acid upon exposure to light, enabling pattern formation in photoresist layers.
photoacid generator for photoresistorsused in manufacturing semiconductor devices
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Sicherheitsreferenz
Achtung
H319Causes serious eye irritation
Identifikatoren
IUPAC-Name
(1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate
InChIKey
LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C1=CC2=C3C(=C1)C(=O)N(C(=O)C3=CC=C2)OS(=O)(=O)C(F)(F)F
Synonyme (10)
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