F4Si
104.079 g/mol
IndustriechemikalieGefahr
Tetrafluorosilane
CAS7783-61-1EC232-015-5
Kategorie
Industriechemikalie
Verbindungsklasse
Halogenkohlenstoff
Hauptverwendung
Manufacture of silane and electronic silicon
Tetrafluorosilane is an inorganic compound of silicon and fluorine. It is primarily significant as an intermediate in the manufacture of silane and high-purity silicon used in electronics and photovoltaics.
Manufacture of silaneManufacture of electronic or photovoltaic siliconEtching agent
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CAS 7783-61-1
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H300Fatal if swallowed
H310Fatal in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H330Fatal if inhaled
H331Toxic if inhaled
Identifikatoren
IUPAC-Name
tetrafluorosilane
InChIKey
ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N
SMILES
F[Si](F)(F)F
Synonyme (8)
- Perfluorosilane
- SILICON TETRAFLUORIDE
- Silane, tetrafluoro-
- Silicon fluoride (SiF4)
- Tetrafluorosilane