CF4
88.004 g/mol
IndustriechemikalieAchtung
CARBON TETRAFLUORIDE
CAS75-73-0EC200-896-5
Kategorie
Industriechemikalie
Verbindungsklasse
Halogenkohlenstoff
Hauptverwendung
low temperature refrigerant and gaseous insulator
Carbon tetrafluoride is a halocarbon compound used as a low temperature refrigerant and gaseous insulator. It is also employed in the semiconductor industry for plasma etching of silicon wafers.
low temperature refrigerantgaseous insulatorplasma etching of silicon wafers in semiconductor manufacturing
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CAS 75-73-0
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Sicherheitsreferenz
Achtung
H280Contains gas under pressure; may explode if heated
H336May cause drowsiness or dizziness
Identifikatoren
IUPAC-Name
tetrafluoromethane
InChIKey
TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(F)(F)(F)F
Synonyme (27)
- Arcton 0
- CARBON TETRAFLUORIDE
- CFC 14
- Carbon fluoride (CF4)
- F 14
- FC 14
- Fluorocarbon 14
- Freon 14
- Ftoksilol
- Ftoxycol
- Halocarbon 14
- Halon 14
- Methane, tetrafluoro-
- Perfluoromethane
- R 14
- R 14 (Refrigerant)
- Refrigerant 14
- Refrigerant R 14
- Tetrafluorkohlenstoff
- Tetrafluormethan
- Tetrafluorocarbon
- Tetrafluoromethane
- Tetrafluoromethane (FC-14)
- perfluorocarbon
- tetrafluoridocarbon