C4H13NO
91.15 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
CAS75-59-2EC200-882-9
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Anorganisches Salz
Hauptverwendung
Semiconductor photoresist developer and etchant
Tetramethylammonium hydroxide is a corrosive solid or colorless liquid with a strong ammonia-like odor, soluble in water. It is primarily used in semiconductor manufacturing as a photoresist developer and etchant.
Photoresist developer in semiconductor manufacturingAnisotropic etchant for siliconBuffer and titrant in chemical analysis
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
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H310Fatal in contact with skin
H311Toxic in contact with skin
H314Causes severe skin burns and eye damage
H318Causes serious eye damage
H370Causes damage to organs
H372Causes damage to organs through prolonged or repeated exposure
H411Toxic to aquatic life with long lasting effects
H301Toxic if swallowed
Regulatorische Konformität1
- CN Catalogue of Hazardous ChemicalsCNRegulierung
Zolltarifliche Einreihung
Der internationale HS-Code für TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE (CAS 75-59-2) lautet 2923.90.
HS-Code (international, 6-stellig)
2923.90
EU-KN-Code (8-stellig)
2923 90 00
Einreihung gemäß dem EU-Zollverzeichnis ECICS (Stand 2026-07, HS 2022). Nationale Tariflinien und die Erzeugnisform können die endgültige Einreihung beeinflussen.
Identifikatoren
IUPAC-Name
tetramethylazanium hydroxide
InChIKey
WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M
SMILES
C[N+](C)(C)C.[OH-]
Synonyme (23)
- NMW-W
- TMAH
- TMAOH
- NMD 3
- TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE
- TMAH 10 % in water
- tetramethylammonium oxide
- tetramethylamonium hydroxide
- tetramethylazanium;hydroxide
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