C8F18O5S2
582.2 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
Nonafluorobutanesulfonic anhydride
CAS36913-91-4EC253-270-9
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Halogenkohlenstoff
Hauptverwendung
Photoacid generator for semiconductor manufacturing
Nonafluorobutanesulfonic anhydride is a high-molecular-weight perfluorinated compound used as a photoacid generator in the semiconductor manufacturing industry. Its primary significance lies in enabling photoresist processes for the production of semiconductor devices.
Photoacid generator for manufacturing semiconductor devicesLaboratory chemical for scientific research and development
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CAS 36913-91-4
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H314Causes severe skin burns and eye damage
H319Causes serious eye irritation
Identifikatoren
IUPAC-Name
1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutylsulfonyl 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
InChIKey
QKIHLPFZYGFMDK-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C(C(C(F)(F)S(=O)(=O)OS(=O)(=O)C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)(F)F
Synonyme (13)
- Nonaflate anhydride