C8H18Cl2Si
213.22 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
Di-tert-Butyldichlorosilane
CAS18395-90-9EC242-273-0
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Metallorganisch
Hauptverwendung
silicon precursor for chemical vapor deposition
Di-tert-butyldichlorosilane is an organosilicon compound primarily used as a silicon precursor in chemical vapor deposition processes. Its structure contains two chlorine atoms and two tert-butyl groups bonded to a central silicon atom.
silicon precursor for chemical vapor deposition
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CAS 18395-90-9
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H314Causes severe skin burns and eye damage
Identifikatoren
IUPAC-Name
ditert-butyl(dichloro)silane
InChIKey
PDYPRPVKBUOHDH-UHFFFAOYSA-N
SMILES
CC(C)(C)[Si](C(C)(C)C)(Cl)Cl
Synonyme (7)
- di-t-Butyldichorosilane
- di-t-butyldichlorosilane
- di-tert-Butyldichlorosilane