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C22H40O4Pd
475 g/mol
Elektronikchemikalie

Palladium tetramethylheptanedionate(Pd(thd)2)

CAS15214-66-1
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Metallorganisch
Hauptverwendung
precursor for palladium deposition

This compound is a palladium coordination complex with two tetramethylheptanedionate ligands, commonly used as a precursor in chemical vapor deposition processes for palladium thin films. Its primary significance lies in its role as a volatile source of palladium for electronic materials fabrication.

precursor for palladium depositionchemical vapor deposition reagent

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CAS 15214-66-1

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Identifikatoren
IUPAC-Name

bis((Z)-5-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylhept-4-en-3-one);palladium

InChIKey

BAMDVVIRBULKGA-ATMONBRVSA-N

SMILES

CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.CC(/C(=C/C(=O)C(C)(C)C)/O)(C)C.[Pd]

Synonyme (3)

—