C9H27O4PSi3
314.54 g/mol
ElektronikchemikalieGefahr
Tris(trimethylsilyl) phosphate
CAS10497-05-9EC234-028-1
Kategorie
Elektronikchemikalie
Verbindungsklasse
Ester
Hauptverwendung
Electronic chemical
Tris(trimethylsilyl) phosphate is an organosilicon compound derived from phosphoric acid, where the three hydroxy groups are replaced by (trimethylsilyl)oxy groups. It is primarily used as an electronic chemical in industrial processes.
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CAS 10497-05-9
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Sicherheitsreferenz
Gefahr
H225Highly flammable liquid and vapour
H226Flammable liquid and vapour
H314Causes severe skin burns and eye damage
H315Causes skin irritation
H318Causes serious eye damage
H319Causes serious eye irritation
H335May cause respiratory irritation
H412Harmful to aquatic life with long lasting effects
Identifikatoren
IUPAC-Name
tris(trimethylsilyl) phosphate
InChIKey
QJMMCGKXBZVAEI-UHFFFAOYSA-N
SMILES
C[Si](C)(C)OP(=O)(O[Si](C)(C)C)O[Si](C)(C)C
Synonyme (9)
- Phosphoric acid, triTMS
- Phosphoric acid, tris-TMS
- Tris-(trimethylsilyl)fosfat
- tritrimethylsilyl phosphate